捷銳R12SL系列小流量減壓器
作者:admin 發(fā)布時(shí)間:2020-04-23 14:12:53 瀏覽次數(shù) :1282
R21SL 系列膜片式減壓器,輸出壓力穩(wěn)定,特別適用于氣體分析儀器、各種高純氣體、腐蝕性氣體
及有毒氣體。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
單級式減壓結(jié)構(gòu)
膜片與母體采用硬密封形式
母體接口螺紋:1/4" NPT(F)
安全壓力:1.5 倍的最大輸入壓力
適用溫度:-40°C ~ 74°C (-40°F ~ 165°F)
泄漏率:2 x 10-8 atm.cc/sec He
CV 值:0.14
重量:0.9 kg (2.0 lbs)
材質(zhì)
母體:316L
閥座:PCTFE, PTFE, Vespel®
膜片:316L, Hastelloy®
適用范圍
半導(dǎo)體制程
實(shí)驗(yàn)室
氣相分析
測試儀表
石油化學(xué)工業(yè)